近日，第十屆中國半導體設備年會暨半導體設備與核心部件展示會在無錫舉行。聚焦客戶需求，推動行業(yè)發(fā)展，協(xié)會副會長單位新投集團在投企業(yè)江蘇微導納米科技股份有限公司（以下簡稱“微導納米”）攜全新iTomic系列原子層沉積鍍膜系統(tǒng)產(chǎn)品及解決方案重磅亮相。

在高峰論壇上，微導納米副董事長兼首席技術官黎微明博士聚焦產(chǎn)業(yè)鏈熱點，以《原子級工程：原子層沉積技術的展望》為題作了精彩演講，與國內(nèi)集成電路領域?qū)＜?、學者和企業(yè)家代表暢談了薄膜沉積設備面臨的機遇與挑戰(zhàn)、前沿ALD技術與市場趨勢等話題，共同探討如何以創(chuàng)新促進產(chǎn)業(yè)鏈上下游聯(lián)動發(fā)展。

會上，中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會常務副秘書長金存忠公布了“第十五屆中國半導體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術”評選結果，微導納米“鳳凰300（iTomic HiK系列）原子層沉積設備”成功入選半導體創(chuàng)新產(chǎn)品。

該項評選由中國半導體行業(yè)協(xié)會、中國電子材料行業(yè)協(xié)會、中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會等共同舉辦，旨在獎勵半導體領域的技術開發(fā)與創(chuàng)新、科技成果推廣與應用。這也意味著微導納米的創(chuàng)新研發(fā)實力與產(chǎn)品應用價值，贏得了業(yè)內(nèi)的高度認可。

微導納米成立于2015年，是新投集團于2019年12月投資的一家高新技術企業(yè)。公司以原子層沉積技術為核心，致力于先進微、納米級薄膜沉積技術和設備的研究與產(chǎn)業(yè)化應用，為光伏、集成電路、柔性電子等半導體與泛半導體行業(yè)提供高端裝備與技術解決方案。

半導體設備是半導體制造的基石，是支撐中國制造轉(zhuǎn)型中國“智”造的關鍵力量。微導納米作為國內(nèi)ALD設備領軍企業(yè)，將利用自身在薄膜沉積領域的多年積累，持續(xù)攻關自主研發(fā)過程中遇到的技術難題，與產(chǎn)業(yè)伙伴合力推進創(chuàng)新發(fā)展，鼎力相助中國半導體裝備業(yè)共同成長。