2025年1月6日，協(xié)會副會長單位蘇創(chuàng)投·國發(fā)創(chuàng)投已投項目——芯達半導(dǎo)體設(shè)備（蘇州）有限公司（以下簡稱“芯達半導(dǎo)體”）半導(dǎo)體前道涂膠顯影機臺順利啟運出廠。

高端前道Track機臺是半導(dǎo)體生產(chǎn)線上不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備，可以廣泛應(yīng)用于不同等級的半導(dǎo)體前道高端光刻領(lǐng)域。至此芯達半導(dǎo)體實現(xiàn)了前道涂膠顯影設(shè)備的完全國產(chǎn)化。

芯達半導(dǎo)體核心研發(fā)團隊擁有20年以上專業(yè)經(jīng)驗，建有10000平米的研發(fā)及生產(chǎn)場地。公司以Semi標(biāo)準(zhǔn)調(diào)度平臺軟件和控制系統(tǒng)技術(shù)來實現(xiàn)高端涂膠顯影機架構(gòu)和部件模塊的調(diào)度控制，通過高精度、高產(chǎn)能光刻產(chǎn)品的架構(gòu)平臺技術(shù)來實現(xiàn)疊層模塊架構(gòu)設(shè)備的生產(chǎn)和環(huán)境控制。目前產(chǎn)品從涂膠顯影機整體架構(gòu)到單元零部件已完全實現(xiàn)國產(chǎn)化，可替代國外28nm以上光刻工藝進口產(chǎn)品，并能提供從整機到工藝解決方案的一系列服務(wù)。